329084BURKERT8741型氣體質(zhì)量流量計
- 更新時間:2024-11-07
- 廠商性質(zhì):工程商
- 產(chǎn)品廠地:上海市
- 訪問次數(shù):967
329084BURKERT8741型氣體質(zhì)量流量計必要時可以設置為 MFC 或者 MFM,且規(guī)定用于 büS 或者 CANopen 網(wǎng)絡中。büS 網(wǎng)絡技術以 CAN 物理層為基礎,Bürkert 特別為涉及多個控制回路(通過工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場總線加以驅(qū)動)的應用而對其進行了研發(fā)。型號為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩?büS 中,并驅(qū)動所有相連的電子設備。設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此,8741 型也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎設施中。8741型借助 MEMS 傳感器進行氣體質(zhì)量流量的測量(用作 MFM)或者調(diào)節(jié)(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應。此外,測量工作不受壓力或者溫度波動的影響??梢詫?MFC/MFM 進行校準,使其用于測量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。
329084BURKERT8741型氣體質(zhì)量流量計主要特點:
采用MEMS技術直接測量流量
高精度和可重復性
響應時間非???br />現(xiàn)場總線通信基于CANopen
額定流量范圍從0.010 lN / min到160 lN / min
通過配置存儲器輕松更換設備
有兩個版本:8741標準和8741büS/ CANopen
技術數(shù)據(jù):
額定流量范圍:10 mlN / min至160 lN / min(N2)
調(diào)低比例:50:1,可選100:1
工作介質(zhì):中性,無污染氣體,其他要求
校準介質(zhì):使用氣體或空氣
大操作壓力(超壓至大氣壓力):10巴(145 psi),MFC大。 壓力取決于閥的孔口
介質(zhì)溫度:-10°C至+70°C(-10°C至+60°C,含氧氣)
環(huán)境溫度:-10至+50°C(根據(jù)要求可提供更高的溫度)
測量精度:±0.8%o.R. ±0.3%F.S.(1分鐘預熱時間后)
重復性:±0.1%F.S.
沉降(MFC)/響應(MFM)時間(t95%):<300 ms
實際流量由傳感器檢測。 這根據(jù)熱原理運行,其優(yōu)點是提供了與壓力和溫度無關的質(zhì)量流量??倸饬鞯囊恍〔糠直晦D移到小的專門設計的旁路通道中,從而確保層流條件。傳感器元件是 一個浸入該流道壁的芯片。 采用MEMS技術生產(chǎn)的芯片包含一個加熱電阻器和兩個對稱布置在加熱器上游和下游的溫度傳感器(熱電堆)。 熱電堆的差分電壓是通過流量傳感器的質(zhì)量流率的度量。 校準過程實現(xiàn)了傳感器信號與通過設備的總流量的分配。
流體的體積是流體溫度和壓力的面數(shù),是一個因變里, 而流體的質(zhì)里是一個不愿時間空間溫度、 壓的變化面變化的量。如前所述,常用的流里計中,如孔板流里計層流質(zhì)里 流里計、渦輪流里計 街流里計電球態(tài)里計、 轉子流里計、招聲波流里計和橢圓齒輪流里計等的流里則里值是流體的體積流里在科學研究、 生產(chǎn)過程控制、質(zhì)里管理經(jīng)濟核算和貿(mào)易交接等活動中所涉及的流體里-般多為質(zhì)里。采用上述流里計僅僅則得流體的體積流里往往不能滿足人們的要求。通常還需要設法獲得充體的質(zhì)里流里。
關于配置的注意事項:
為了正確選擇MFC內(nèi)的執(zhí)行器孔口,不僅需要獲得大流量Qnom,而且還應該知道在此流量Qnom下的MFC(p1,p2)之前和之后的壓力值。通常,這些壓力是與整個設備的整體進口和出口壓力不一樣,因為通常在控制器之前和之后都存在附加的流量電阻器(管道,附加的截止閥,噴嘴等)。
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